光电阴极辅件清洁处理中,等离子清洗机技术

等离子清洗机除了具有超清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,等离子体作用于材料表面,使表面分子的化学键发生重组,形成新的表面特性。

对某些有特殊用途的材料,在超清洗过程中等离子清洗机的辉光放电加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性。因此等离子清洗作为一种新型清洁技术,将会广泛应用于光学、光电子学、材料科学、生物医学、微观流体学等领域。

以微光像增强器为代表的真空光电子器件在国防、科研等行业中有着广泛的应用,在国际国内受到很高的重视。微光像增强器是利用光电阴极在景物输入光子的激发下,产生相应光电子图像,从而将微弱的或不可见的辐射图像转换成电子图像,在超高真空管体内,电子光学系统对光电子施加很强的电场,并受电子光学透镜聚焦(或通过微通道板电子倍增的方式),以高能量电子轰击荧光屏发光,实现入射光能量的成倍增加,从而产生人眼可见的相应光子图像的成像器件。

微光像增强器属于真空光电成像器件,其生产制造工艺流程复杂、繁多,其生产制造中表现出两大特性:超高真空,超高洁净,特别是碳氧氢类污物的去除对器件的稳定性至关重要。因此该器件对工序流传中零部件、附件及半成品组件等有非常高的洁净度要求。

以像增强器光电阴极制造中所使用的辅件:锑碱座和单管座为例,该两个附件是光电阴极制造过程中最主要的工具,其陶瓷接线柱的绝缘性能直接影响光电阴极制造的生产质量。

锑碱座和单管座的结构紧凑,陶瓷接线柱分布密集,金属杆处的凹槽空间狭小,使用工具进行擦洗难度很大。

先前对陶瓷接线柱绝缘性能不好的锑碱座和单管座使用化学浸泡(RBS清洗剂)和超声清洗的方式进行,利用这些清洗方式对陶瓷接线柱绝缘性能不好的锑碱座和单管座进行清洗。

虽然锑碱座的陶瓷接线柱绝缘性能得到了一定改善,但经过短时间的使用后又会反复出现陶瓷接线柱漏电流过大,表现为清洗不彻底。应用此种方法清洗,使得锑碱座、单管座的清洗频率过高,使用频率较低,同时加大了使用成本,也增加了对环境的污染。

对当前陶瓷接线柱绝缘性能不好的锑碱座和单管座,采用等离子清洗技术进行清洗。使用等离子清洗机清洗时,等离子清洗机的整个石英腔体中充满了等离子体,对工件的任意部位,包括普通清洗方法不能清洗到的细小凹槽、狭缝、微孔等部位都能进行全面的清洁。

同时利用等离子清洗能从根本上改善陶瓷接线柱的绝缘性能,延长锑碱座和单管座的使用周期,提高生产效率,降低生产成本,减少对环境的污染。

充分认识新型清洁技术在光电阴极辅件清洁处理中的应用,革新原清洁处理方式,提高像增强器附件的清洁效果,提高产品工序良品率及工作效率。




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