超高纯电子特气系统在锑化物半导体工艺研发

半导体系造业是人类科技文化的集大成者。进展锑化物半导体已成为我国第四代半导体焦点技巧进展的兵法性方位之一，超高纯电子特气系统能为半导体锑化物临盆研发供给平安、接连和不变压力的超高纯气体，保阐明验的不变施行。

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起因：气体运用资讯